在本次实验中,我们主要利用Lakeshore TTPX低温探针台进行器件测试温度的控制,并且文中所涉及到的所有温度变化过程都是通过相同的步骤完成:即先将探针台腔体内的温度降低至液氮的极限值77K,然后再依次升高到各个温度点进行测试。
对上述样品进行输出特性测试,温度从77K逐渐增大到300K,漏极电压取值范围为0V~10V,栅压从-6V~2V,步阶Vstep=1V。图1给出了室温下该器件的输出曲线,从图中可以看到,栅压控制着器件的导通和关断,当Vg=-5V时,输出电流接近于0,沟道未开启。随着栅压不断增大,沟道逐渐开启,输出电流随着漏极电压的增大先线性增大而后趋于饱和,并且在饱和区出现了因自热效应引起的负阻现象。

图1 常规GaN HEMT器件室温下输出特性曲线
图2(a)和(b)中分别给出了Vg=2V和Vg=0V时77K、100K、150K、200K、250K、300K共六个温度点下器件的输出特性曲线。从中可以看到,左右两图表现出基本相同的变化规律,即在器件工作温度从300K降低到100K过程中,输出电流不断增大,然而,当温度从100K降低到77K,输出电流却出现了一定程度的减小,即输出电流在T=100K时取得了最大值。再者,从图中可以看到,随着温度的降低,饱和区电流崩塌现象变得更加明显。另外,图3中给出了栅压从-4V增大到2V时最大饱和电流随温度的变化曲线。可以看到,栅压一定时,随着温度的减小,最大饱和电流表现出和图2相同的规律。另外,漏极电流随温度降低所呈现出的变化规律主要与源、漏欧姆接触电阻以及2DEG的迁移率和浓度随温度的变化相关,进一步的解释将在后面的文章给出。


图3 最大饱和电流变温曲线