图1(a)和(b)分别给出了120K和300K温度下不同栅长GaN HEMT器件输出曲线,对比左右两图首先可以看到,在栅长和偏压一定的条件下,低温下的输出电流大于室温情况,并且,低温下输出曲线表现出更加明显的电流崩塌现象,特别是对于大栅长器件而言。再者,从左图可以看出,当器件栅长较小时,栅长增大所引起输出电流减小量在T=300K明显大于T=120K。为了更加明确地观察不同栅长AlGaN/GaN器件输出电流在T=120K和T=300K下的变化,图2给出了Vg=2V时这两个温度点下最大饱和电流随器件栅长的变化曲线。

图1 (左a)T=120K不同栅长器件输出曲线 (右b)T=300K不同栅长器件输出曲线

图2 最大饱和电流随器件栅长变化曲线
除了输出特性,转移和跨导特性在研究GaN基HEMT器件时也是必不可少的。这里选取77K和300K这两个温度点进行对比分析。图3中依次给出了在偏压Vd=10V的情况下,T=77K以及室温下测试得到的不同栅长器件的转移曲线和跨跨导曲线。将图3(b)和3(d)进行对比可以看到,对于栅长一定的器件,T=77K时的跨导明显大于室温下,即器件的栅控能力在低温下得到了很大的提升。再者,从中提取出的最大跨导随栅长的变化曲线如图4所示,从中可以明显看到,77K下的跨导峰值近似为300K的两倍。另外,利用前面讲到的提取阈值电压的方法,我们可以从图3中得到不同栅长器件的阈值电压,如图5所示。从图中可以看到,无论是低温下还是室温条件下,随着器件栅长的增加,阈值电压基本都呈正漂趋势,其中T=300K,Lg=3µm时阈值电压的负漂主要跟实验误差有关。

图3 不同栅长器件转移和跨导曲线

图4 最大跨导随器件栅长变化曲线

图5 阈值电压随器件栅长变化曲线
最后,对77K和300K下的栅电流进行了测试,结果如图6所示。对比(a)、(b)两图可以看到,当栅极所加偏压小于0V时,77K下的栅漏电比室温下小不止一个数量级。同时,随着器件栅长的增加,左右两图中的栅极反偏电流都表现出先增大后减小的变化规律,并且在Lg=8µm时出现了最大值。

图6(左a)T=77K不同栅长器件栅电流曲线 (右b)T=300K不同栅长器件栅电流曲线