AlGaN/GaN/AlGaN双异质结HEMTs功率特性

  为了研究AlGaN/GaN/AlGaN双异质结样品的功率特性,我们使用Maury公司的负载牵引(Load-pull)系统对器件进行功率特性测试。测试样品为SiC衬底上双异质结HEMTs器件,器件栅尺寸为0.5×100μm2,样品编号DH。测试的频点为4GHz,漏极电压为35V,栅电压接近于截止电压,使器件工作在深耗尽AB类的状态下。如图1为AlGaN/GaN/Al0.07Ga0.93N双异质结HEMTs器件的功率特性,通过调整漏端和源端的阻抗,使得输出的功率附加效率(PAE)为最高。最大功率密度达到了7.78W/mm,线性增益为23dB。当功率附加效率最大时,效率为62.3%,器件的输出功率密度为7.37W/mm,增益为15.67dB,可见该双异质结HEMTs器件具有优良的功率特性。
AlGaN/GaN/Al0.07Ga0.93N双异质结HEMTs器件的功率特性 
图1 AlGaN/GaN/Al0.07Ga0.93N双异质结HEMTs器件的功率特性
 
  对常规异质结HEMTs器件也进行了功率特性测试。如图2比较了两种异质结构的增益大小,当输入功率为0dBm时,常规异质结和双异质结HEMTs器件的增益分别为19.15dB和22.85dB。而且当输入功率较大时,双异质结HEMTs器件的增益仍然大于常规单异质结构器件将近3dB,说明双异质结构HEMTs器件的大信号增益明显高于单异质结构器件。正是由于双异质结构载流子限域性的提高,使其增益明显高于常规单异质结构HEMTs器件。许多文献中报道的GaN HEMTs器件的增益均小于本文的结果。
常规异质结和双异质结HEMTs器件的增益比较 
图2 常规异质结和双异质结HEMTs器件的增益比较
 
  一般情况下,随着输入功率的增大,器件的功率附加效率PAE先增大后减小,在一定的输入功率下取得最大值,而该双异质结HEMTs的功率附加效率在大信号时仍然较大,并没有明显的降低。通过上篇文章可知,双异质结HEMTs器件的背势垒高度提高以及势垒层应变减小,导致缓冲层漏电和栅极漏电均小于常规单异质结器件,因此双异质结器件工作时由于漏电所耗散的功率Pdiss就更小,这一点在大信号工作时更为明显。器件的直流功率是输出功率和耗散功率之和,即PDC=Pout+Pdiss,在相同的输出功率下,双异质结器件的耗散功率更小,因此直流功率更小。另外,输入功率与输出功率和增益的关系为Pin=Pout/Gain,当输出功率相同时,由于双异质结器件的增益更大,其需要的输入功率就更小。功率附加效率可以表示为PAE=(Pout-Pin)/PDC,在大信号范围内,当输出功率相同时,双异质结器件的直流功率PDC和输入功率Pin都更小,因此其大信号时的功率附加效率保持在很高的水平,而且没有明显的下降,并没有出现在常规单异质结器件中大信号时效率降低的现象。以上这些结果说明AlGaN缓冲层双异质结构具有优越的微波功率特性,非常适合高频、大功率的应用场合。

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