碳化硅衬底氮化镓：采用这种衬底制作的器件的导电和导热性能都非常好，有利于做成面积较大的大功率器件。这是射频氮化镓的“高端”版本，SiC衬底氮化镓可以提供最高功率级别的氮化镓产品，可提供其他出色特性，可确保其在最苛刻的环境下使用。
不过碳化硅基氮化镓器件相对于硅衬底而言，碳化硅制造成本较高，实现其商业化还需要降低相应的成本。
碳化硅衬底氮化镓：采用这种衬底制作的器件的导电和导热性能都非常好，有利于做成面积较大的大功率器件。这是射频氮化镓的“高端”版本，SiC衬底氮化镓可以提供最高功率级别的氮化镓产品，可提供其他出色特性，可确保其在最苛刻的环境下使用。
不过碳化硅基氮化镓器件相对于硅衬底而言，碳化硅制造成本较高，实现其商业化还需要降低相应的成本。