GaN/PEDOT:PSS肖特基结

  1.GaN/PEDOT:PSS肖特基二极管的基本结构
  本文中,GaN/PEDOT:PSS肖特基二极管的基本结构如图1所示,材料从下到上依次为:蓝宝石衬底;100nm的缓冲层AlN;2µmSi掺杂n型GaN;厚约80nm的PEDOT:PSS有机薄膜;与GaN接触的阴极In;与PEDOT:PSS接触的阳极Au。
GaN/PEDOT:PSS肖特基接触的基本结构剖面图 
图1 GaN/PEDOT:PSS肖特基接触的基本结构剖面图
 
  2. n-GaN/PEDOT:PSS肖特基结的能带图
  本文实验中所采用的GaN为n型,掺杂浓度较高。有机物的能带分为HOMO(Highest Occupied Molecular Orbital)和LOMO(Lower Unoccupied Molecular Orbital)。已占有电子的能级最高的轨道称为最高已占轨道,用HOMO表示。未占有电子的能级最低的轨道称为最低未占轨道,用LUMO表示。由于PEDOT:PSS的功函数为5.0eV,比n-GaN的亲和能(4.3eV)大,如图2(a),当两者形成肖特基结时,电子从n-GaN一侧向PEDOT:PSS一侧流动,同时PEDOT:PSS电离的偶极子中空穴一方以相反方向n-GaN运动,直到二者费米能级相等两边达到动态平衡时为止,这时n-GaN和PEDOT:PSS有统一的费米能级,如图2(b)所示。n-GaN和PEDOT:PSS形成的肖特基结达到动态平衡时,在二者的界面层由于电子和空穴的复合,会形成一个空间电荷区,成为势垒区。
n-GaN/PEDOT:PSS肖特基结能带图 
图2 n-GaN/PEDOT:PSS肖特基结能带图 (a)接触前 (b)接触后
 
  PEDOT:PSS一端为阳极,n-GaN一端为阴极,当外加正电压,向PEDOT:PSS一端运动的电子比向n-GaN一端运动的空穴多,打破了动态平衡,空间电荷区变窄,肖特基势垒降低,有正电流流过肖特基结;当外加负电压时,空间电荷区变宽,肖特基势垒升高,空穴需要更大的能量才能越过肖特基势垒,因此,此时只有很少一部分空穴能越过势垒达到PEDOT:PSS一端,电流非常小,这也体现了肖特基二极管的整流特性。n-GaN/PEDOT:PSS肖特基结的正、反偏能带图如下图3所示。
正、反偏n-GaN/PEDOT:PSS肖特基结能带图 
图3 (a)正偏n-GaN/PEDOT:PSS肖特基结能带图
(b)反偏n-GaN/PEDOT:PSS肖特基结能带图
 
  3. GaN/PEDOT:PSS的参数提取
  由于GaN和PEDOT:PSS分别属于无机物和有机物,这使得二者形成的肖特基二极管等效结构比较复杂,但是可以用热电子发射模型来拟合。虽然通过热电子发射模型的正向I-V特性不能准确计算GaN/PEDOT:PSS肖特基接触的势垒高度和理想因子,但从I-V半对数坐标在Y轴的截距上也能反映肖特基势垒的情况。肖特基结一般使用热电子发射模型。根据热电子发射模型,我们可以得到,GaN/PEDOT:PSS接触的I-V方程如式(1)所示。
计算公式1、2 
  上式中,A为肖特基结接触面积,T为绝对温度,A*为有效理查德常数(室温下,对于GaN,A*=26.3A/cm2/K2),фb为肖特基接触势垒高度。
  但是,式(1)是理想的热电子发射模型中的I-V方程,我们知道,通常半导体表面存在各种杂质、界面态、和缺陷,加之镜像力等影响因素,使得实际中的肖特基势垒高度会发生变化。在I-V特性的测试中,电流依赖于界面结构,界面材料接触的不均匀会导致肖特基接触的整流特性变差,而且混合异质肖特基结电流的传输机制也不仅仅为热电子发射模型,可能存在随穿电流,这些因素都可能导致反向漏电流增加,计算得到的肖特基势垒高度偏低等。为了更好的与实际结合,我们在式(1)中引入一个理想因子n来描述,引入后的电流-电压特性如式(3),反向饱和电流Is不变。
计算公式3~5 
  从式(4)可以看出,做lnI-V曲线如图4,通过提取lnI-V曲线的斜率和截距,可以计算出理想因子n和反向饱和电流。进而通过式(5)计算肖特基接触势垒高度。
半对数坐标下的正偏肖特基接触I-V曲线 
图4 半对数坐标下的正偏肖特基接触I-V曲线

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